第388章 第388节 （3/4）
“一是需要突破硅衬底GaN外延技术，这一块我们正在和曙光半导体联合开发；二是我们必须想办法专用的高精度MOCVD和原位监测技术，否则良品率上不去！”
“原理上有没有问题？”
“没有，主要是工程问题！”负责人补充道，"孙董，我们另辟蹊径的硅衬底氮化镓技术一旦成熟，LED照明的成本将大幅下降，现在GE和飞利浦卖的灯泡要几十美元，甚至几百美元一个，我们若是突破，完全可以把他们打垮！
这是一个总价值超过200亿美元的大市场，到时候光光LED芯片领域的巨大需求，可以极大的降低中国成熟芯片的生产成本！”
“好，这就是我坚持开发硅衬底LED的根源，现在看来我们赌对了！”孙明远激动地拍案而起："加大投入！需要多少资金直接打报告，我特批！同时，给核心技术人员涨工资加上股权激励，让他们安心搞研发！"
……
考察完了硅衬底LED，孙明远又去看了看研发中的沟槽栅IGBT，这一领域西门子已经取得了关键突破，孙明远旗下的普莱西进展很快，但动视中心上海实验室要想迅速国产化有很长的路要走。
一是沟槽栅需要亚微米级深槽刻蚀，目前国内的光刻机不行；二是沟槽栅需配合薄片加工，国内缺乏背面减薄和激光退火设备；三是硅衬底高质量外延层依赖进口MOCVD设备。
沟槽栅IGBT和硅衬底LED遇到的问题都差不多，不过孙明远也不着急，国内搞不定，现在普莱西半导体搞，然后想办法搞来设备和技术，一步步突破，总有解决办法的！
甚至于最关键的光刻机，此时也有了很大的进步……孙明远推开厚重的铅防护门，立刻看到了中央平台上的钢铁巨兽。
三米高的365nm浸润式光刻工程样机就如同一头沉默的史前生物，底盘缠绕的银色管路如密集的血管，365nm的i-line紫外光源在光学塔内氤氲出诡异的紫光……
“孙董！稳定了！”林本坚的声音从观察窗下传来，他正趴在气浮平台上，用千分表校准镜头位置，油污的工装沾满光学胶。
“超纯水流速1.8毫升/秒，硅片转速4500转，水膜厚度保持28微米已超过十五分钟——无气泡，无湍流！”
“你仔细解释一下！”
“最难驯服的不是光，是水。”林本坚指向高速摄像机拍摄的实时画面：硅片在4500转/分钟的离心力下，超纯水却在镜头与晶圆间形成了绝对光滑的弧面，宛如覆盖着一层无重力的水晶壳。
“我们与中外研究机构合作，花了28个月研发了这个。”他拍着嗡嗡作响的脉冲稳流柜，“三级纯化系统：0.1μm陶瓷过滤筛掉粒子，树脂电离柱提纯，最后紫外-臭氧双重消杀灭活所有微生物……”
就在此时，镜头扫描系统突然发出刺耳蜂鸣！硅片边缘处一道水纹开裂如闪电，“热变形！”哈工大流体力学团队的王工大吼，“温差，水膜曲率变了！”
工程师们扑向操作台。林本坚飞快输入参数：“启动微区温度补偿！压电阀响应再提速！”冷却液泵发出呜咽，镜头悬停位置纳米级微调，十秒后，监控屏上水膜恢复完美镜面。
当防护罩掀起时，孙明远倒吸冷气——26组光学镜片在紫光下如冰雕丛林，层层叠叠构成令人眩晕的复杂光路。
“这就是吞掉1.2亿的‘水晶宫’，这台机器一半的钱就花在镜片上！”
中科院长春光机所的李老戴上老花镜：“孙董，您看这块。”他指着正在五轴研磨机上旋转的镜坯，“精度要求是头发丝的十万分之一，日本尼康卡着我们脖子，最后是我们请来的蔡司工匠带着人用手工研磨闯出来！”
就在此时，英国进口的激光干涉仪亮起刺目红光——波前像差检测显示第7号镜片相位偏移弧度。
“拆！”林本坚斩钉截铁，工程师们如手术团队般簇拥镜筒。空气中漂浮着昂贵光学胶的气味，而每一次拆卸都可能报废价值百万的镜片。
也就在此时，哈尔滨工业大学徐教授突然想起了什么：“先不要着急拆，我们可以用温差形变法矫正！控温精度±！”
技术人员手忙脚乱时，孙明远则看着平台两侧的孪生工作台系统，主台紫光氤氲开始曝光时，副台同时完成硅片的预对准与水位校准。
“尼康的干式机靠超高速运动平台实现高产，我们国内的精密直线电机还有一些差距，就用‘土办法’——两台设备接力跑！”负责机械的清华大学赵教授拍着花岗岩基座，“双台数据用咱们自主研发的工控机串联，同步精度0.1微秒。”
“不管是土办法，洋办法，能用就行！”
也就在同时，工程师试图启动高速扫描，瑞士进口的滚珠丝杠突发啸叫，“轴承热膨胀卡死了！”赵教授当机立断，“关机！泼液氮降温！”上海材料所的工程师扛着钢瓶冲上前，白色寒雾瞬间吞噬了故障点。
一个工程师拿着笔算了起来，“热膨胀系数不匹配？我们可以用氮化硅复合轴承代替！”
“对，这个办法，进口零件会卡壳，也是可以调试的！”
忙活了很久，第一块曝光完成的晶圆送到电子显微镜下，镜头推移到十万倍率——0.8微米制程的电路线条清晰地切割硅原子层，看到这一幕，上海冶金研究所陈工哽咽道：有了这台光刻机，我们终于可以生产自己的高水平芯片了！”
孙明远心脏猛跳，他盯着这台耗资2.4亿人民币打造的“吞金兽”，而今，紫色激光穿透纳米级水膜的刹那，中国第一次摸到了深亚微米制程的大门，这也意味着军工系统的RISC芯片可以真正国产化了，虽然良率很低，但有总比没有好……
忙乎完了，孙明远和林本坚坐在一起，孙明远亲手把咖啡递给他，林本坚双手接过来，十分感慨地说道，“孙董，多谢您，让我有机会实践了自己的设想！”
“你也帮我们解决了太多的问题，这个突破对中国电子工业意义重大，有着这个东西，中国半导体制程进入到亚微米，还获得了一批宝贵的专利，而西方国家，我估计会放开一些限制，情况会有明显的好转！”
“还有很长的路！”