第28章 华虹流片的首次亮红灯 （2/4）

“过流了。”林工冷冷地说，“温度太高，光刻胶彻底化了，摊得到处都是。这颗晶圆，废了。”

办公室里一片死寂。

陈默看着那颗废掉的晶圆照片，脸色惨白：“知夏，是不是你的参数算错了？”

江知夏死死盯着屏幕，大脑一片空白。

怎么会呢？

他在仿真软件里模拟过无数次，150度是最佳温度。为什么在现实中会失败？

“仿真和现实，毕竟是有差距的。”林工叹了口气，“江工，这就是工业界。你的理论模型太理想化了，没有考虑到实际产在线的热传导效率。我们的加热台，升温速率比仿真里要快得多，导致光刻胶还没来得及形成完美的球面，就已经过度流动了。”

她拍了拍江知夏的肩膀：“别灰心，第一次流片失败是很正常的。我们要不要调整一下设计？把微透镜的曲率半径改大一点，这样对温度的敏感度会低一些。”

“改设计？”江知夏喃喃自语。

如果改设计，就要重新做光刻版。

这意味着至少两周的时间，还有几十万的掩膜费。

对于争分夺秒的项目来说，这是无法承受的代价。

“不能改设计。”江知夏突然说道。

“为什么？”林工愣住了，“不改设计，这工艺跑不通啊。”

“工艺跑不通，是因为我们只调了温度。”江知夏站起身，眼神重新变得锐利，“林工，除了温度，还有什么是影响光刻胶回流的变量？”

“时间？”陈默试探着问。

“还有气氛。”江知夏盯着屏幕，“我们在仿真里用的是真空环境，但产在线是氮气保护。氮气的流速会影响热交换，也会影响光刻胶表面的挥发速率。”

他转向林工：“林工，如果我们保持145度，但是把氮气流量降低50%，甚至暂时关掉氮气，让它在空气中快速回流，会怎么样？”

“关掉氮气？”林工瞪大了眼睛，“你疯了？光刻胶在高温下接触氧气，会氧化变质的！而且会有颗粒污染！”

“我知道有风险。”江知夏语速飞快，“但是，我们需要利用氧化层来增加光刻胶的粘度，防止它过度流动。只要时间控制在30秒以内，氧化层厚度只有几个纳米，不会影响透光率。”

这是一个疯狂的提议。

在标准的洁净室里，这是绝对的违规操作。

“这不符合规范。”林工摇头，“我不能冒这个险。万一污染了腔体，整条线都要停下来清洗，损失你赔不起。”

“如果成功了呢？”江知夏直视着林工的眼睛，“如果成功了，我们就解决了一个MEMS工艺的难题。华虹可以作为技术储备，申请专利。而且，这颗晶圆如果废了，也是损失。与其报废，不如赌一把。”

林工沉默了。

她看着江知夏，这个年轻的本科生，眼中闪烁着一种近乎狂热的光芒。

那是赌徒的光芒，也是科学家的光芒。

“我得请示厂长。”林工拿起电话，走出了办公室。

几分钟后，她回来了。

“厂长说，反正这颗晶圆已经是废品了。”林工看着江知夏，“如果你敢签免责协议，我们就陪你疯一次。”

“我签。”江知夏毫不犹豫地拿起笔。

那一刻，他感觉手中的笔有千斤重。

这不仅是对几十万的晶圆负责，更是对整个项目的未来负责。

“走！”林工一挥袖子，“去光刻区！现场调试！”

江知夏跟着林工冲进洁净室。