第315章 第315节 （4/4）

我们这条路线一旦取得突破，就不需要花费巨资开发这种新光源，而且相关技术积累也可以用于未来的深紫外和极紫外光刻机的开发，我相信这条路线非常适合大陆！”

“林博士！”孙明远很激动的点点头，“辛苦了！把你请来，负责这个项目的研发，是我做出的最正确的决定！”

当天考察结束，心中激荡着成功喜悦的孙明远邀请林本坚共进晚餐，在一间安静的包间里，没有了白天的喧嚣和旁人，两人放松下来。

“林博士，今天真是载入史册的一天。敬您！”孙明远举杯，由衷说道，“没有您对物理的深刻洞察和不懈坚持，这条路不会这么快就走通。”

林本坚谦和地笑了笑，眼中带着一丝不易察觉的回忆：“孙先生，过誉了，其实，这种‘挑战主流’的事情，我并不是第一次做。”

他放下酒杯，语气平静地讲起一段往事：“您可能不知道，在IBM做深紫外光刻研究时，也是‘离经叛道’。

IBM内部，甚至在业界，很多人认为X光微影才是下一代光刻的主流方向。负责X光微影项目的负责人，恰恰是我的顶头上司。他所掌握的资源、团队规模，都是我的深紫外团队望尘莫及的。”

林本坚露出一丝带着苦涩的自嘲笑容：“我们的处境非常尴尬。你辛苦钻研的方向，上面并不看好，投入又少，甚至还要面临被随时砍掉的风险。

但我坚信，DUV在材料选择、光源能量、尤其是可量产性上，拥有X光难以比拟的潜力，而X光需要极其昂贵的同步辐射光源，且掩模版制作、对准都是巨大难题，DUV路线路径更清晰，更有可能实现。”

他的眼神忽然闪动着一种少有的狡黠和叛逆的光芒：“某天，X光微影团队宣称取得了‘阶段性重大进展’，我的顶头上司非常高兴，给整个部门每人发了一件T恤，上面印着‘X ray works!’作为庆祝。”

孙明远饶有兴致地问：“哦？那您呢？也穿了？”

林本坚哈哈大笑起来：“我是穿了！但我可不是默默穿。我拿起马克笔，在T恤背后大大地加了三个字——变成‘X ray works for the dentists!’（X光有用——给牙医用！）

然后用磁铁把这件‘创意T恤’牢牢贴在我办公桌后面的文件柜上，正对着过道！昭告所有路过的同事！”

孙明远闻言，笑得前仰后合，拍案叫绝：“妙！太妙了！后来呢？你上司没生气？”